【聚焦】全球静电吸盘市场高度集中 中国市场刚起步

巨大的下游市场配合积极的国家产业政策与活跃的社会资本，正在全方位、多角度地支持国内半导体行业发展，共同推动我国静电吸盘（ESC）等半导体配套设备国产化稳步进行，为中国静电吸盘（ESC）厂商的发展壮大创造了机遇。

静电吸盘又称静电卡盘（英文简称：ESC或E－Chuck）是一种利用静电吸附原理夹持固定被吸附物的夹具，适用于真空及等离子体环境，主要作用是吸附超洁净薄片（如硅片），并使吸附物保持较好的平坦度，可以抑制吸附物在工艺中的变形，还能够调节吸附物的温度。

静电吸盘相较于机械卡盘，减少了机械运动部件，颗粒污染降低，增大了晶片的有效面积；与真空吸盘比较，静电吸盘可用于低压强（真空）环境，适用于需要利用卡盘控制晶片温度的场合。鉴于以上优点，静电吸盘现已在半导体、平板显示、光学元件、太阳能光伏等领域中被广泛采用。

静电吸盘（ESC）行业的发展与半导体设备配套需求密切相关。近年来，随着国家加大半导体领域的投入，我国半导体设备采购额逐年增加，推动了包括静电吸盘（ESC）在内的核心部件的采购量增长。此外，随着中国大陆晶圆产能的建设和扩产，中国成为全球晶圆产能增长的重心，带动国产半导体设备的需求增长，为国产静电吸盘（ESC）的发展提供了良好的机遇。

根据新思界产业研究中心发布的《2020年全球及中国静电吸盘（ESC）产业深度研究报告》，2019年，全球地区静电吸盘（ESC）市场规模为34．13亿元，其中，北美地区静电吸盘（ESC）市场规模为12．78亿元，欧洲地区静电吸盘（ESC）市场规模为9．10亿元，中国静电吸盘（ESC）行业市场规模为2．56亿元。

全球静电吸盘市场具有高度垄断性，由日本和美国企业主导，美国企业主要有美国AMAT（应用材料）、美国LAM（泛林集团），日本企业主要有Shinko（新光电气）、TOTO、NTK CERATEC等。国际巨头长期控制着全球静电吸盘产品的供应链，市场集中度较高。

中国静电吸盘行业发展时间较短，目前正处于起步阶段，市场竞争力较弱。除了北京华卓精密科技股份有限公司、广东海拓创新精密设备科技有限公司已经实现商业化生产外，其他大部分企业，如北京软体机器人科技有限公司、浙江新纳陶瓷新材有限公司、中山市思考电子科技有限公司尚处于研发阶段，目前仅能进行静电吸盘的维修以及更换，在生产方面尚不成熟。

新思界行业研究员表示，中国拥有全球最大且增速最快的半导体消费市场。2019年，中国集成电路产业产值达7562亿元，比2018年增长15．77％。然而，我国国产设备及静电吸盘（ESC）等核心部件的国产化率仍较低，具有较强的替代需求。巨大的下游市场配合积极的国家产业政策与活跃的社会资本，正在全方位、多角度地支持国内半导体行业发展，共同推动我国静电吸盘（ESC）等半导体配套设备国产化稳步进行，为中国静电吸盘（ESC）厂商的发展壮大创造了机遇。

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